renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉(zhuǎn)軸鏡組

英國 renishaw 雷尼紹 XL80 激光干涉儀 鐳射 數(shù)控機床加工中心精度檢測校準

 激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用廣泛。

工作原理：

 激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

 若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

特點：

1、激光穩(wěn)頻精度 通過動態(tài)熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達到1年內(nèi)精度為±0.05 ppm，1小時內(nèi)精度為±0.02 ppm。

2、線性測量精度，精度為±0.5 ppm?？梢愿哌_50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，線性測量速度可達4 m/s，即使在速度下線性分辨率仍可達1 nm。

3、儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計算機之間無需單獨的接口。

4、激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號強度，相當于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴展到激光頭上。

5、可以在標準 (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換

6、模擬I/O端口允許模擬信號輸出和觸發(fā)信號輸入。

 使用注意事項：

1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。

2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。

3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

 renishaw激光干涉儀線性角度直線回轉(zhuǎn)軸鏡組